湿化学品关键生产工艺：提纯、混配、过滤

随着电子元器件制作要求的提高，相关行业应用对电子湿化学品纯度的要求也不断提高。

为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势，并规范世界电子湿化学品

的标准，SEMI（国际半导体产业协会）将电子湿化学品按金属杂质、控制粒径、颗粒个

数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。电子湿化学品在各应用领域的产品标准有所

不同，光伏一般只需要 G1 级水平；显示面板和 LED 对电子湿化学品的等级要求一般为 G2

、G3水平；集成电路对电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3 以上水平，晶圆尺

寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4 以上水平；分立器件对电子湿化学

品纯度的要求略低于集成电路，基本集中在 G2 级水平。

主要适用于平板显示、半导体及 LED、光伏太阳能以及锂电池、光磁等电子元器件微细加

工的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、掺杂等制造工艺 过程。电子湿化学品是电子行业湿

法制程的关键材料。电子湿化学品属于电子化学品领域的一个分支，是微电子、光电子湿

法工艺制程（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等）中使用的各种液体化工材料。按

照组成成分和应用工艺不同可分为通用湿电子化学品（酸类、碱类、溶剂类，如硫酸、氢

氟酸、双氧水、氨水、硝酸、异丙醇等）和功能性湿电子化学品（配方产品，如显影液、

剥离液、清洗液、刻蚀液等）。

湿电子化学品品种众多，产品制备工艺、设备要求 各不相同，需根据不同品种特性

确定工艺路线。提纯工艺段主要采用蒸馏、 亚沸蒸馏、等温蒸馏、减压蒸馏以及升

华、化学处理、气体吸收等技术，分离金属杂质。采用超微过滤器（PTFE 膜）过滤

除去颗粒性杂质。结合不同的颗粒、金属杂质、非金属杂质分析测试技术以达到相应

标准的洁净度。