光谱共焦的干涉测量原理及厚度测量模式

光谱共焦位移传感器是通过彩色激光光源发射出一束高密度宽光谱光，通过色散镜头后，在量程范围内行程不同波长的单色光，每个波长对应一个距离值，测量光射到物体表面反射回来，只有满足共聚焦条件的光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到光的焦点的波长，换算获的距离值。今天由深圳立仪科技公司介绍光谱共焦的干涉测量原理及厚度测量模式：

干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。

它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的独创性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。

此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。最小可测厚度为0.4μm。

光谱共焦测量技术通过分析不同波长的光在特定表面的聚焦位置以进行高精度的尺寸测量和微观形貌分析。根据这一测量原理，特定波长的光可能聚焦在样品正面，而对于透明材质样品，两条不同波长的光在样品的正反面聚焦。这正是光谱共焦提供的两种测量模式，前者为位移测量模式，后者为厚度测量模式。

厚度测量模式：

在测量玻璃、镜片等透明样品时，不同波长的两束光在样片正反表面聚焦，在导入样品折射系数参数之后，可计算出该样品的厚度值。相比于游标卡尺等传统的接触式测量工具，光谱共焦测量拥有所有非接触式光学测量的优势，同时还具有单侧测量即可获取样品厚度值的特性。

折射系数直接影响厚度测量的数据精度，因此在测量开始时应先确认样品的折射率。折射率可参考同类材料的数值，但如需获得更高精度的厚度测量结果，需借助折光仪测得样品的折射率。

光谱共焦的两种测量模式可在软件界面中自由切换，无需重新启动设备或系统。因此，无论是样品表面尺寸测量，还是透明材质厚度测量，亦或是同时获取透明样品的外观尺寸和厚度信息，光谱共焦测量技术都能从容应对。

基于光谱共焦的厚度测量仪：

可实现两轴的厚度扫描，并实时记录厚度值，生成三维图形;

采用非接触式测量，不会因为磨损从而影响精度;

采用双头测厚，测量时不受被测物上下抖动影响;

全数字的系统，操作方便，而且自带校准功能;

测量对象包含金属板、玻璃、薄膜、纸张、金属箔片等;