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韩国氧化钇企业世元热喷涂技术株式会社成功自主研发半导体生产用涂层材料

韩国世元热喷涂技术株式会社与韩国政策研究所共同自主研发半导体生产用涂层材料,可替代日产进口材料。

韩国全南科技园陶瓷产业孵化中心扶持培育的阶梯式成长企业-世元热喷涂技术株式会社最新成功研发出一直依赖进口日本的材料替代品。

世元热喷涂技术株式会社做为专业的热喷涂生产企业,2012年入驻韩国全南科技园陶瓷产业孵化中心,配备并使用尖端的设备研发。2016年为全罗南道木浦为陶瓷产业园区投资50亿韩元(约1941万人民币),成功量产极寒环境专用YSZ热喷涂材料,为最新开发的半导体专用Y2O3涂层材料量产投资30亿韩元(1765万人民币)。

此次开发的Y2O3(Yttrium Dioxide)涂层材料是适用于半导体生产流程设备的材料,是全部依赖日本进口的材料。

开发出的核心技术是将因范德华力(分子间作用力)形成的粉体凝聚,从等离子游离出的气体离子吸附于粉体表面,赋予粉体之间相互排斥的特性技术,使得细微(小)粉体不会凝聚,增强流动性。

以往的产品会因范德华力产生粉体凝聚现象,不能生产形成致密涂层膜的细微(小)粉体。

世元热喷涂技术株式会社独自研发出可以制造热喷涂材料的细微(小)粉体技术以后,开始与韩国国家核聚变研究所Hong Yongcheol博士团队共同研发解决以往涂层材料的最大问题---粉体凝聚,将开发出的涂层材料用于热喷涂,成功完成比以往更严密的涂层膜,并通过和获得了韩国多家涂层厂商的品质检验及信任。

近期,因日本的出口限制宣布了半导体材料国产化的三星电子将研发出的热喷图产品直接用于生产线,正在进行质量测试。为了保护核心技术,已经完成在美国、日本、韩国的专利申请。

世元热喷涂技术株式会社的研究所长Moon Heungsu表示:“通过国家技术研发事业与研究所的合作是可以实现技术开发及国产化”,“此次材料国产化确认了在其他领域使用涂层材料的可能性。”

韩国全南科技园Yoo Dongguk园长表示:“祝贺世元热喷涂技术株式会社成功国产化以前依赖日本进口的产品。”“韩国全南科技园为了最小化因日本出口限制导致的全罗南道中小企业损失,计划设立出口限制难关扶持中心,会将依赖进口产品国产化企业扶持政策尽快落实到实处。“

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